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上海普丹光學(xué)儀器有限公司

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MX-40BD半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡

半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡資料下載

產(chǎn)品用途

MX-40BD半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡采用無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng),具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴(kuò)展性強(qiáng)(明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏振光/DIC觀察)、大平臺(tái)等特點(diǎn);同時(shí)配有長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差物鏡和快速和慢速移動(dòng)的大行程載物臺(tái),尤其適合半導(dǎo)體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì): 工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過(guò)熱

  • 透反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明,帶斜照明機(jī)構(gòu)。切換至斜照明時(shí),可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現(xiàn)立體圖案,增加觀察的對(duì)比度與視覺(jué)效果

  • 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器: MX-40BD采用6孔全自動(dòng)電動(dòng)裝盤(pán)(帶DIC插槽),重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制,根據(jù)需求可配置不同孔位的轉(zhuǎn)換器

  • 長(zhǎng)工作距金相物鏡:采用半復(fù)消色差技術(shù),其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。更有50X100X全復(fù)消色差金相物鏡可供選擇,大幅拓展了該機(jī)型的應(yīng)用領(lǐng)域。

產(chǎn)品規(guī)格

規(guī)格參數(shù) MX-40BD
光路系統(tǒng) 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察頭 鉸鏈三通觀察筒,30°傾斜,360°旋轉(zhuǎn);瞳距范圍:50mm~76mm
反像,視度調(diào)節(jié)±5°;兩檔分光比R:T=100:0
目鏡 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡WF10X(Φ23mm)
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡 倍率 數(shù)值孔徑(N.A.) 工作距離(W.D.)
BD 5×-DIC 0.15 15.0mm
BD 10×-DIC 0.3 8.40mm
BD 20×-DIC 0.4 11.90mm
BD 50×-DIC 0.75 3.00mm
明暗場(chǎng)半復(fù)物鏡 BD 100×(選配) 0.9 1.0mm
放大倍數(shù) 50×-500×
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)輪 電動(dòng)明暗場(chǎng)6孔轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽)
透反射用機(jī)架 6*4英寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)
平臺(tái)面積310*240mm,移動(dòng)行程:150mmX100mm機(jī)械平臺(tái),X、Y方向同軸調(diào)節(jié)
內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
調(diào)焦機(jī)構(gòu) 粗、微動(dòng)同軸低手位調(diào)焦機(jī)構(gòu)、帶鎖緊和限位裝置
 微動(dòng)格值0.001mm、粗調(diào)行程35mm
DIC微分干涉 DIC微分干涉觀察組件(選配)
簡(jiǎn)易偏光裝置 φ30起偏鏡插板(反射用)、360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板(反射用)
聚光鏡 搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)  
反射照明系統(tǒng) 柯拉照明系統(tǒng),帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,中心可調(diào)
100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED,暖色
透射照明系統(tǒng) 內(nèi)置5W暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光可獨(dú)立控制
數(shù)碼成像系統(tǒng) 高質(zhì)量0.65X  CCD適配鏡
Puda 630萬(wàn)USB型進(jìn)口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(jī)(采用SONY 6.3M/IMX178(C),1/1.8“ (7.37x4.92),59@3072 x2048,59@1536x 1024高性能芯片組/ USB3.0高速通訊,高分辨率、精準(zhǔn)的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎,確保顏色精準(zhǔn)再現(xiàn))
專業(yè)的圖像分析軟件(專業(yè)的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機(jī)控制/視頻操作/圖像處理/圖像測(cè)量/圖像融合(景深擴(kuò)展)/圖像拼接/清晰度對(duì)焦因子/動(dòng)態(tài)圖像灰度值定標(biāo)(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性和連貫性) /插件功能))
可升級(jí)配件 明暗場(chǎng)全復(fù)消色差金相物鏡 50X   NA0.55   WD8.0  (可選)
明暗場(chǎng)全復(fù)消色差金相物鏡 100X  NA0.80   WD2.8  (可選)
移動(dòng)平臺(tái)6寸、8寸、12寸透反射 (可選)
晶圓旋轉(zhuǎn)臺(tái) (可選)
目鏡:10×(分劃)
注解:●為標(biāo)配、○為可升級(jí)配件

特別聲明:

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